EUV光刻机不香了

ASML郁闷了！佳能公司掀桌子了！根据媒体报道，10月13日，佳能公司正式推出5纳米芯片压印机，这样的压印机可以生产5纳米芯片，未来甚至可以生产2纳米芯片，这下ASML遇到大麻烦了。一、纳米压印机平替EUV光刻机近在眼前